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昊志機電亮相第六屆深圳國際半導體展(SEMI-e)

2024年07月02日 11:21:58來源:昊志機電 廣州機床工具行業圈點擊:3162

  【機床商務網欄目 企業參展】2024年6月26日 ——第六屆深圳國際半導體展覽會(簡稱SEMI-e)在深圳會展中心盛大啟幕。本屆展會的展出面積達60,000平方米,吸引了超過800家展商參展,預計將有逾60,000名行業專家與觀眾蒞臨現場,共同探索在人工智能、物聯網、5G通信、新能源汽車等領域中半導體技術的嶄新應用與未來趨勢。
 
  昊志機電在6號館的6H18展位上,展示了一系列精心打造的產品:劃片機主軸、高精度磨外圓電主軸、氣浮超精密晶圓研磨電主軸、晶圓超精密檢測空氣靜壓轉臺以及伺服驅動器和直驅電機等。旨在為客戶提供半導體等領域核心功能部件解決方案。
 

 

  PART.01
 
  匠心產品介紹
 
  01
 
  剛度與承載力優于競品達14.3%
 
  劃片機主軸系列
 

 

       01
 
  高剛度
 
  主軸采用創新型結構設計,剛度與承載力較市場同類產品顯著提升14.3%,能夠滿足硅晶圓、封裝基板、石英玻璃和陶瓷等材料的加工需求。
 
  02
 
  高精度
 
  采用高精度接口設計,錐面跳動≤0.5μm,刀座裝刀面的徑向跳動和軸向竄動均≤1μm,主軸連續加工時伸長量波動≤0.3μm,達到國際先進水平,確保高加工精度和高良品率。
 
  03
 
  高可靠性
 
  優化主軸防水、防塵性能,電機防護等級IP67,采用優質碳刷材質,連續工作長達6525小時,增強耐用性,減少維護成本和停機時間,延長設備壽命,提升投資回報率。
 
  04
 
  高性價比
 
  與專業變頻器廠家合作,為電主軸匹配最佳驅動參數,溫升降低16.7%,整合資源后,我們能夠為客戶節約30%的采購成本,提供了具有高性價比的解決方案。
 
  02
 
  高精度、高剛性、超強密封 晶棒加工利器
 
  高精度磨外圓電主軸
 
圖片

       01
 
  高精度
 
  內、外砂輪座外圓與端面全跳動≤5um,內砂輪座重復定位精度≤1um,主軸振動≤0.5mm/s,加工出來尺寸公差控制在0.002mm以內,具有無與倫比的高精度的特性。
 
  02
 
  多功能
 
  主軸配備兩個可控制伸縮的砂輪座,實現內、外砂輪工況切換。
 
  03
 
  高剛性、大承載
 
  外軸采用短跨距設計,配置大尺寸、大球徑軸承;內軸則采用大軸徑軸系設計,并配置多層軸承支撐;主軸配置額定功率17.6kW、額定扭矩48Nm、最高轉速4000rpm的永磁電機,使主軸具有高剛性、低振動、高承載能力的特點。
 
  04
 
  超強前端密封
 
  前端密封設計采用迷宮密封、氣幕密封與骨架油封相結合的方式,確保在0.2MPa的氣封條件下,能完全阻止異物進入主軸,主軸的防護等級達到IP65。
 
  03
 
  低振動、高剛性、高承載 半導體超精加工
 
  高精度晶圓倒角機主軸
 
圖片

       01
 
  高剛性、低振動
 
  主軸采用創新型結構設計,具有低振動(全轉速振動≤0.6mm/s)、高剛性(剛度≥12N/μm)、高承載(承載力≥200 N)的優勢,能夠輕松應對晶圓的倒角加工。
 
  02
 
  高精度
 
  通過結合氣體靜壓軸承的均化效應和極高的零件加工精度,實現了比滾珠軸承電主軸更高的靜態和動態精度(低至200納米)。
 
  03
 
  高可靠性
 
  采用螺旋冷卻結構,主軸保持恒溫加工,各項性能穩定可靠,這不僅顯著延長了主軸的使用壽命,降低了維護成本,更帶來了無與倫比的長時間穩定生產能力。
 
  04
 
  回轉運動誤差,低至20納米
 
  氣浮超精密晶圓研磨電主軸
 
圖片

       01
 
  高性能電機
 
  主軸配備高性能交流永磁同步電機,連續額定輸出扭矩可達13.5N•m,強勁扭力輕松應對碳化硅等超硬材料的加工需求。
 
  02
 
  高效率冷卻系統
 
  三段式冷卻結構提升冷卻效率,溫升小,熱穩定時間≤20min,熱伸長波動≤100nm。非接觸式軸芯中心出水結構和砂輪冷卻流道同時冷卻軸芯和砂輪,提高加工過程中的精度保持和表面處理質量,減少因溫度波動導致的加工誤差。
 
  03
 
  高加工質量
 
  主軸全轉速振動≤0.1mm/s,軸向剛度450N/μm,徑向剛度150N/μm,回轉運動誤差低至20納米,使得8英寸工件研磨后表面TTV≤3μm,粗糙度Ra≤0.02μm,保障了晶圓等產品的高質量加工。
 
  05
 
  連續額定輸出扭矩可達18N•m高性能主軸
 
  氣浮超精密晶圓研磨電主軸
 
圖片

       01
 
  高性能電機
 
  主軸配備高性能交流永磁同步電機,連續額定輸出扭矩可達18N•m,強勁扭力輕松應對碳化硅等超硬材料的加工需求。
 
  02
 
  高效率冷卻系統
 
  三段式冷卻結構提升冷卻效率,溫升小,熱穩定時間≤20min,熱伸長波動≤100nm。非接觸式軸芯中心出水結構和砂輪冷卻流道同時冷卻軸芯和砂輪,提高加工過程中的精度保持和表面處理質量,減少因溫度波動導致的加工誤差。
 
  03
 
  高加工質量
 
  主軸全轉速振動≤0.1mm/s,軸向剛度800N/μm,徑向剛度200N/μm,回轉運動誤差低至20納米,使得12英寸工件研磨后表面TTV≤3μm,粗糙度Ra≤0.02μm,保障了晶圓等產品的高質量加工。
 
  06
 
  最高轉速達到4800rpm 晶圓超精密檢測空氣靜壓轉臺
 
圖片

       01
 
  非接觸式真空吸
 
  氣浮套上設計有獨特的槽型空腔結構和采用小間隙密封結構,實現了非接觸高速真空吸功能,避免了轉臺使用接觸式旋轉接頭后對精度產生的影響。
 
  02
 
  快速啟停
 
  轉臺配備的高性能電機可持續輸出8N.m的扭矩,并且對軸芯進行高精度動平衡后,轉臺可實現2S內直升4800rpm并達到轉速穩定,提高檢測效率。
 
  03
 
  高定位精度
 
  轉臺兼顧最高4800rpm的同時,定位精度≤士20urad(≤士4.12”),重復精度≤士10urad(≤士2.06”)。
 
  07
 
  定位精度達±2.5”高性能轉臺 高精密晶圓研磨機轉臺
 
圖片

       01
 
  高精度
 
  我司具備軸芯、軸承等零部件的超精密加工能力,加上液體油膜固有的“誤差均化效應”使得液體動靜壓轉臺具有超高回轉精度(小于0.1μm)。搭配光柵編碼器,定位精度可達±2.5”,重復定位達±1”。
 
  02
 
  高性能
 
  配置三相交流永磁同步電機,功率1.3kW,最高轉速142rpm,動態響應快。采用氣動鉗夾,增強了鎖緊力矩和結構穩定性,確保了在生產過程中的高品質和可靠性。
 
  03
 
  高穩定性
 
  采用液靜壓軸承,軸芯油膜懸浮實現無磨損運行,延長設備的使用壽命,油膜吸振減少轉臺振動,賦予了設備高剛性和加工穩定性等突出特點,顯著提升了產品的加工能力。
 
  08
 
  伺服驅動器+直驅電機
 
圖片
 
  01
 
  驅動器
 
  高帶寬、高采樣頻率、高響應速度;智能參數自整定,機械振動抑制能力;支持多種編碼器反饋協議和多種控制方式,方便的自整定功能,電流環周期62.5us,速度/位置環周期500us。
 
  02
 
  微型對位臺
 
  結構緊湊尺寸小;直線導軌負載大;驅動力響應快;糾偏對位精度高。
 
  03
 
  IC高速分選
 
  用于芯片設計檢驗段和成品終測(FT)環節,是終測環節重要檢測設備之一;16-24個工位/旋轉角度:15°~22.5°,測試時間:35~60ms,產能:20~60K/h。
(來源:昊志機電 廣州機床工具行業圈)


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